Авторитетность издания
ВАК - К1
RSCI, ядро РИНЦ
Добавить в закладки
Следующий номер на сайте
№4
Ожидается:
09 Декабря 2024
Ключевое слово: трансформация топологии
- Программа трансформации топологии субмикронных сверхбольших интегральных схем для технологии двойного фотошаблона Авторы статьи: Зинченко Л.А., Аверьянихин А.Е.