Авторитетность издания
ВАК - К1
RSCI, ядро РИНЦ
Добавить в закладки
Следующий номер на сайте
№3
Ожидается:
13 Сентября 2024
Ключевое слово: трансформация топологии
- Программа трансформации топологии субмикронных сверхбольших интегральных схем для технологии двойного фотошаблона Авторы статьи: Зинченко Л.А., Аверьянихин А.Е.