Все большее применение в промышленности и на транспорте находит контроль геометрических параметров деталей и узлов машиностроения с помощью лазерной триангуляции. Однако основными проблемами, препятствующими его внедрению, являются разнородность оцениваемых поверхностей и, как результат, неоптимальные условия работы сенсора, приводящие к возникновению шумов спеклов, что в конечном итоге увеличивает погрешность [1].
Альтернативой указанному подходу может быть метод триангуляции с использованием зеркально отраженного излучения, так как чувствительность его больше [2]. На устройство для контроля параметров криволинейных поверхностей в 1994 г. выдан патент 2025659 (авторы: Андрейченко Ю.Я., Волошинов В.А., Волошинов Д.В., Самсонов В.В.). С помощью этого метода проще добиться приемлемого качества входного оптического сигнала. Кроме того, реализующая его оптическая схема более простая и дешевая, чем у интерферометра – устройства, реализующего еще один альтернативный оптический метод. Отметим, что рассматриваемый метод имеет значительное сходство с гартмановскими датчиками волнового фронта, имеющими большую чувствительность (до 0,001 длины волны света) и перспективными для различных применений.
В данной статье подробно описан и обоснован вывод расчетных формул и приведены алгоритмы получения профилей и контурных картин поверхностей вращения способом триангуляции с использованием зеркально отраженного излучения.
Рассматриваемые контролируемые изделия имеют вид тела вращения с криволинейной наружной поверхностью:
F(r, j, z)=0, (1)
где r, j, z – цилиндрические координаты.
Рассмотрим модель оптического сканирования в приближении геометрической оптики при условии, что падающий и отраженный пучки света являются тонкими (см. [3]). При этом важно, что, во-первых, поперечная ширина тонкого пучка не учитывается в расчетах и, во-вторых, прохождение тонкого пучка в пространстве описывается положением его центрального луча.
На рисунке 1 изображена тестируемая поверхность в зоне оптического контроля. Параллельно оси OZ со смещением на величину d в положительном направлении оси OY проведена прямая AB. В направлении данной прямой производится сканирование поверхности вдоль оси вращения источником излучения. Луч , падающий на поверхность, перпендикулярен плоскости YOZ и зеркально отражается относительно вектора нормали .
Отраженный луч регистрируется матричным фотоприемником, расположенным так, чтобы столбцы матрицы были параллельны оси x. С этой осью совмещается серединный столбец матрицы. Для поиска луча , отраженного от поверхностей с различными наклонами, перед началом измерений фотоприемник имеет возможность перемещаться по дуге радиуса L в диапазоне углов [y1, y2].
Информативными параметрами являются угол y, который отсчитывается от положительного направления оси OX и соответствует энергетическому центру отраженного пучка на матричном фотоприемнике, а также координата x этого энергетического центра на фотоприемнике.
Сканирование всей поверхности осуществляется шаговым разворотом контролируемого объекта вокруг оси OZ и дискретным перемещением источника света по прямой AB в точках с координатами zk=zk-1+Dz. Алгоритм сбора данных приведен на рисунке 2.
Формулы для определения координат освещенной точки контролируемой поверхности на каждом шаге сканирования получены из законов геометрической оптики:
, . (2)
Эти соотношения определяют принадлежность входящих в них векторов одной плоскости и равенство углов падения и отражения. Дополняя их уравнением падающего луча, получаем математическую модель оптической схемы в виде системы из четырех уравнений.
Для упрощения системы уравнений (2) переходим от декартовых координат {x, y, z} к системе цилиндрических координат {rc, jc, zc}. Располагаем ее так, чтобы направления осей z и zc совпадали, а отсчет углов jc начинался от положительного направления оси OX в сторону положительного направления оси OY.
Из исходной системы уравнений путем линейных преобразований авторами ранее были получены [4] два дифференциальных уравнения. Они связывают rc и его первую производную по какой-либо другой координате – jc или zc:
,
, (3)
где jR – угол поворота контролируемого объекта; zR – смещение источника излучения; и – функции четырех переменных. Переменные jR, zR задаются независимо известным способом. Их отсчет ведем в той же системе цилиндрических координат оптической схемы. Переменная rc неизвестна, а переменная zc (координата освещенной точки поверхности) легко определяется благодаря выбранной пространственной конфигурации оптической схемы.
Из (3) получаем дифференциальные уравнения относительно неизвестного радиуса измеряемой поверхности в ее освещенной точке:
, . (4)
При этом левые части уравнений представляем как производные неявной функции радиуса rc, зависящей от переменных jc и zc и определяемой уравнением поверхности (1).
Запишем уравнения (4) в системе координат {r, j, z}, связанной с контролируемой поверхностью. Уравнения связи между системами координат имеют вид
r=rc, j=jc–jA, z=zc, (5)
где jA – угловая координата, связанная с поворотом контролируемой детали.
Она отсчитывается в системе координат оптического преобразователя, выбирается такой, чтобы в начале отсчета выполнялось условие j=0, и изменяется с поворотом поверхности при сканировании в соответствии с формулой
jA=jR–jconst, (6)
где jconst – постоянная величина угла, введенная для удобства расчетов.
Принимаем также, что величина угла jR изменяется в процессе сканирования от 0 до 2p или до минус 2p радиан в зависимости от направления сканирования.
Уравнения (4) переходят в следующие уравнения:
, . (7)
Функция вида r(jR, zR) является частным решением любого из них в отдельности. Из нее, используя (5) и очевидное соотношение
d=r sin jc, (8)
можно получить профиль радиуса r(j, z) в системе координат контролируемой поверхности, а из сетки таких профилей и изображение всей поверхности.
Для нахождения решения перейдем от уравнений (7) к уравнениям, содержащим дифференцирование только по независимым переменным jR и zR. При этом, в отличие от уравнений (7), их левые части представим как производные радиуса именно освещенной точки поверхности. Ее координаты в системе, связанной с контролируемой поверхностью, обозначим как (ra, ja, za). Они удовлетворяют уравнениям (7). В схеме устройства угловую координату рассматриваемой точки обозначим как a. При этом для радиусной и осевой координат этой точки в схеме устройства новые обозначения не вводятся, так как при выводе формул они не нужны. Подставляя в (5) и (6) вместо j величину ja и вместо jc величину a, имеем
ja=a–jR+jconst. (9)
Получим дифференциальные уравнения, связывающие искомый радиус ra контролируемой поверхности в ее освещенной точке с задаваемыми углом jR поворота этой поверхности вокруг оси OZ и смещением zR источника излучения.
Представим ra как сложную функцию:
ra=ra(ja, za), (10)
где ja=ja(jR, zR) и za=za (jR, zR). Согласно правилу вычисления производной сложной функции,
. (11)
Очевидно, что для точек на контролируемой поверхности
, . (12)
В соответствии с (9)
. (13)
Из (8) имеем
, (14)
тогда . (15)
Подставив первое из уравнений (7), а также полученное соотношение (15) в (11), имеем в результате дифференциальное уравнение следующего вида:
. (16)
Оно относится к нелинейным дифференциальным уравнениям в частных производных первого порядка. Так как в него входит только одна частная производная и к тому же выраженная в явном виде, то его можно считать и обыкновенным дифференциальным уравнением. Решая его при каком-либо постоянном zR, получаем функцию ra(jR, zR), от которой, используя (5), (6), (8) и (16), переходим к r(j, z) при заданном z=zR. Граничное условие имеет вид
ra(jR=0, zR=V)=ra(jR=2p, zR=V), (17)
где V – смещение источника излучения вдоль оси OZ от некоторого начального уровня.
При задании V должны выполняться два условия: 1) попадание зондирующего луча на контролируемую поверхность, 2) возможность детектирования этого луча фотоприемником после отражения его от контролируемой поверхности.
Условие (17) позволяет получить решение уравнения (16) в виде однозначной функции (радиальный профиль), что показали выполненные расчеты.
Так, авторами было получено аналитическое решение уравнения (16), линеаризованного по искомому r и информативным параметрам y и x при условии, что отклонения радиального профиля от круглости много меньше (менее 0,0001) средней величины его радиуса [4]. Нахождение этого решения доказало, что оно существует и единственно.
Для проверки полученных формул при значительных отклонениях от круглости, то есть когда данное условие не выполняется, авторы создали компьютерную модель оптической схемы измерений согласно рисунку 1 (при условии из [3]). При этом рассмотрена схема в плоскости, то есть контролируемая поверхность представлена цилиндром с направляющей, параллельной OZ. Модельный радиальный профиль представлен как синусоида, высоты которой отсчитывались в радиальном направлении от среднего радиуса. Решение получено численно. При этом использовался итерационный алгоритм, который сводился к последовательным вычислениям приближенных величин ra вдоль одного радиального профиля. В данном случае использовался известный метод вычислений Рунге–Кутты с точностью до четвертого порядка:
,
,
,
,
, (18)
где ‑ обозначение правой части уравнения (16); i – порядковый номер точки восстанавливаемого профиля, i=0, 1, 2, …, N, jR N=jR 0+2p, DjR= =jR i+1–jR i=2p/N. Отметим, что , как и другие функции в правой части дифференциальных уравнений в этой работе, являются также и функциями информативных параметров y и x. Только для упрощения вида формул они не приведены в списке аргументов в скобках. Параметры y и x зависят от этих аргументов. Зависимости y(jR, zR) и x(jR, zR) использовались как исходные данные в расчетах по (18). При вращении контролируемой детали, как показано на рисунке 1, jR изменялся от 0 до 2p. Вычисление величин искомой функции в пределах одного радиального профиля представляло собой одну итерацию. Для исключения влияния дискретности зависимостей y(jR, zR) и x(jR, zR) внутри итерации было запрограммировано уменьшение шага дискретизации по jR в два раза, то есть удваивалось N, после чего расчеты по алгоритму (18) начинались вновь до тех пор, пока не выполнялось условие
, (19)
где j в данном случае – количество удвоений N. Величина (19) выбрана на два порядка большей, чем чувствительность модели к изменениям r.
Нулевое приближение ra при jR=0 было взято как среднее арифметическое между d и L. Очередное приближение после каждой итерации могло быть выбрано, например, в согласии с известным методом стрельбы. Однако свойство устойчивости решения уравнения (16) позволило обойтись при этом выборе без дополнительных вычислений. Это свойство, обнаруженное авторами при компьютерном моделировании, проявляло себя в том, что при нахождении решения по алгоритму (18) отсчеты искомой функции ra все более приближались к решению уравнения (16) с каждым последующим шагом алгоритма (18). Компьютерное моделирование показало, что для достижения предела сходимости достаточно от двух до четырех итераций, причем сходимость процесса была экспоненциальной. Об устойчивости этого решения свидетельствовали и известные критерии устойчивости дифференциального уравнения, например, критерии Гурвица, Пригожина, Ляпунова. Результаты расчетов на разработанной компьютерной модели приведены на рисунке 3. Для более наглядного отображения сходимость показана как величина, равная
, (20)
где j – порядковый номер итерации, i имеет тот же смысл, что и в (18). После первой итерации величина (20) условно принята равной нулю. На рисунке 3 величина (20) показана отнесенной к одному периоду модельной синусоиды. Для нахождения величины (20), достигаемой при одной итерации, показанные на рисунке 3 величины надо умножить на количество K периодов модельной синусоиды. Результаты получены при следующих величинах параметров модели: d=7 мм, L=35 мм, средний радиус профиля R=10 мм, начальное значение N=10´K. При этом авторская модель имела чувствительность Dr=10–4 мкм к изменениям r. Максимальное количество отсчетов jR i в пределах одного периода модельной синусоиды, определенное программой, было 121. Тогда дискретность уже практически не сказывалась на результатах.
Проведя переход, аналогичный проделанному, но уже от второго из уравнений (7), получаем:
. (21)
Для этого уравнения граничное условие находится из (16). Решение уравнения (21) дает профиль сечения измеряемой поверхности плоскостью, в которой перемещается падающий световой луч. Таким образом, ориентация профилей сечений измеряемой поверхности, являющихся решениями дифференциальных уравнений (16) или (21), определяется левыми частями этих уравнений.
Итак, уравнение (16) с граничными условиями (17) имеет единственное решение, когда контролируются зеркально отражающие поверхности вращения, имеющие значительные отклонения от круглости, сравнимые с их средним радиусом в том же радиальном профиле. С помощью описанного алгоритма удалось добиться точного восстановления радиального профиля в рамках использованной физической модели [3]. Ограничения на практике определяются областью применимости физической модели, а также возможностями оптического доступа к контролируемой поверхности и беспрепятственного прохода луча света, отраженного от контролируемой поверхности, до фотоприемника.
По выходной информации, накопленной на каждом шаге сканирования, восстанавливается форма всей поверхности. Один из способов – использование из двух полученных уравнений только уравнения (16). С его помощью на каждом шаге сканирования по оси OZ вычисляются высоты соответствующего радиального профиля. Для решения ограничиваются информацией, накопленной с участков контролируемой поверхности, которые лежат только на одном этом профиле. Однако использование дополнительно к (16) уравнения (21) на порядок уменьшало погрешность восстановления осевого профиля. Это было показано в поставленном авторами эксперименте [4], в ходе которого также проведена успешная проверка полученных формул.
На рисунке 4 изображен оптико-механический блок лабораторного макета, созданного авторами для эксперимента. Пространственная конфигурация блока соответствует схеме на рисунке 1. По краям показаны электрические разъемы. Источник излучения – полупроводниковый лазер с длиной волны 0,78 мкм. Оценки предела суммарной погрешности: Dj=±0,5°, Dy=±0,1°, Dx=±13 мкм. В эксперименте использована специально изготовленная деталь (рис. 5) из алюминиевого сплава.
Ее сканируемая поверхность была обработана на токарном и шлифовальном станках и имела девятый класс шероховатости (Ra от 0,160 до 0,32 мкм включительно). Форма детали образована из цилиндра симметричным стачиванием шести граней. Диаметр – 27,8 мм, расстояние между противолежащими гранями – 26,4 мм. Для восстановления формы радиального профиля использованы алгоритмы и формулы, приведенные в данной работе. Величины параметров в эксперименте: d=10±0,05 мм, L=35 мм, N=300. Результаты показали (рис. 6), что восстановленный профиль в деталях совпадал со сканируемым, при этом погрешность восстановления не превышала 0,04 мм. Она максимум в 40 раз превосходила нижний предел погрешности Dr при идеальной кинематике блока, которая была оценена авторами в другой серии экспериментов на данном приборе, но с остановленной контролируемой деталью. При этом лабораторный макет работал так же, как если бы деталь вращалась, и в итоге получался виртуальный радиальный профиль, свободный от кинематических погрешностей. В результате сделано заключение о том, что погрешность измерений r определялась в эксперименте кинематическими погрешностями поворота контролируемой детали при сканировании.
Таким образом, в статье приведены вывод расчетных формул и алгоритмы получения контурных картин криволинейных поверхностей способом триангуляции с использованием зеркально отраженного зондирующего пучка света. Полученные результаты успешно опробованы на разработанной компьютерной модели и в проведенном эксперименте.
Работа частично выполнялась в рамках НИР «Анализ и синтез световых полей в лазерной метрологии и технологии» (№ гос. регистрации 01910042666) в Самарском филиале Физического института РАН с 2002 по 2004 гг. Авторы благодарны Е. Воронцову за информационную поддержку.
Литература
1. Буцких В.А. Применение слепого разделения сигналов для подавления шумов спеклов в лазерной триангуляции / IX Всерос. молодеж. Самар. конкурс-конф. науч. работ по оптике и лазерной физике: сб. конкурс. докл. (9–13 ноября 2011 г., Самара). М.: ФИАН, 2011. С. 225–231.
2. Caulier Y., Spinnler K., Arnold M., et al. Automatic detection of surface and structural defects on reflecting workpieces / Photonik International. 2008. no. 2, pp. 30–32.
3. Born M., Wolf E. Principles of Optics: 7th (expanded) edition. Cambridge, UK: Cambridge University Press, 1999, 952 pp.
4. Заякин О.А. Информационно-измерительная система контроля деталей подшипников на основе двумерной лазерной триангуляции: дисс. … к-та тех. наук. Самара: СГТУ, 2005. 178 с.